Rentgenolitografia
Rentgenolitografia to proces litografii stosowany w mikroelektronice, w tym w produkcji procesorów. W tej metodzie wykorzystuje się promieniowanie rentgenowskie o długości fal od 0,4 do 1 nm.
Maski
Do produkcji masek w rentgenolitografii stosuje się różne materiały, w tym:
- cienkie membrany krzemowe
- tytan
- SiC (węglik krzemu)
- mylar
- poliamidy
Jako materiał pochłaniający promieniowanie wykorzystuje się złoto.
Zalety
Rentgenolitografia oferuje szereg korzyści, takich jak:
- większa rozdzielczość dzięki krótszej długości fal (około 800 razy krótszej niż w klasycznej fotoligrafii), co pozwala na uzyskanie mniejszych wymiarów charakterystycznych układów mikroelektronicznych
- krótki czas naświetlania
- mała wrażliwość na zanieczyszczenia, takie jak pyłki pomiędzy emulsjami maski i płytki
Wady
Proces wytwarzania masek do rentgenolitografii jest skomplikowany i wymaga wielu etapów. Maski są zazwyczaj produkowane przy użyciu innej metody litografii, najczęściej elektronolitografii.
Kategoria: Elektronika
